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基于无掩模光刻的高精度ITO电极湿法刻蚀工艺研究
氧化铟锡(ITO)导电膜具有电阻率低、透光性好、耐高温等优点,在光电领域具有重要应用。现有加工方法得到的ITO电极尺寸一般为10~20......
期刊
光学设计
ITO电极
湿法刻蚀
无掩模光刻
高精度
optical design
ITO electrode
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